感光性組合物及其制備方法、圖案形成方法、應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010039782.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111413849A 公開（公告）日 2020-07-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN111413849A 申請(qǐng)公布日 2020-07-14
分類號(hào) G03F7/039(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 錢曉春;胡春青;龔艷 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州強(qiáng)力光電材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州市權(quán)航專利代理有限公司 代理人 常州強(qiáng)力先端電子材料有限公司;常州強(qiáng)力電子新材料股份有限公司;常州強(qiáng)力光電材料有限公司
地址 213000江蘇省常州市天寧區(qū)鄭陸鎮(zhèn)武澄工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種感光性組合物及其制備方法、圖案形成方法、應(yīng)用。其中感光性組合物包括以下原料：樹脂組分和磺酸酯光酸產(chǎn)生劑。能夠用于堿顯影液溶解曝光的正型感光性組合物，形成具有優(yōu)異的分辨率、靈敏度和良好對(duì)比度的圖案。