蒸鍍裝置和用于為其生產(chǎn)坩堝的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201280007567.0 申請日 -
公開（公告）號 CN103459650A 公開（公告）日 2013-12-18
申請公布號 CN103459650A 申請公布日 2013-12-18
分類號 C23C8/10(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23F1/18(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 尤亨·馬蒂亞松 申請（專利權(quán)）人 昆明鉑陽遠(yuǎn)宏能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 索里布羅有限公司;北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
地址 德國比特菲爾德-沃爾夫崗
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及蒸鍍裝置，其包含坩堝(1)和加熱器(2)，該加熱器被設(shè)置以用于加熱在該坩堝(1)內(nèi)的蒸發(fā)物料(3)，其中該坩堝(1)包含金屬主體(11)和包含氧化鈦(TixOy)的保護(hù)層(13)，其覆蓋該金屬主體(11)的內(nèi)表面(12)至少一部分。此外，本發(fā)明涉及用于為這樣的蒸鍍裝置產(chǎn)生坩堝的方法。