金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積大面積氧化鋅透明導(dǎo)電膜反應(yīng)器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200520025309.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN2775071Y 公開(kāi)（公告）日 2006-04-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN2775071Y 申請(qǐng)公布日 2006-04-26
分類號(hào) C23C16/455(2006.01);C23C16/40(2006.01) 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 耿新華;趙穎;薛俊明;仁慧志;魏長(zhǎng)春;張德坤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昆明鉑陽(yáng)遠(yuǎn)宏能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市學(xué)苑有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 代理人 解松凡
地址 300071天津市衛(wèi)津路94號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種氧化鋅透明導(dǎo)電膜的制備設(shè)備，特別是用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積法（MOCVD）制備氧化鋅透明導(dǎo)電膜的反應(yīng)器，以便實(shí)現(xiàn)制備氧化鋅透明導(dǎo)電膜的大面積均勻性。 MOCVD法制各氧化鋅透明導(dǎo)電膜，具有無(wú)轟擊，襯底溫度低（～ 150℃）等優(yōu)點(diǎn)，特別適合于低溫薄膜太陽(yáng)電池應(yīng)用，對(duì)提高電池效率有重要作用。本實(shí)用新型的技術(shù)方案：這種金屬制備氧化鋅透明導(dǎo)電膜的反應(yīng)器，是在一個(gè)圓柱形反應(yīng)室中設(shè)置加熱絲、勻熱板、二乙基鋅和硼烷布?xì)夤?、水布?xì)夤艿?，其特點(diǎn)在于：二乙基鋅和硼烷布?xì)夤転槭釥?，梳狀分管上布有微孔，水布?xì)夤艹适纸徊鏍?。本新型的有益效果：反?yīng)器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)低，在不加旋轉(zhuǎn)的情況下，20cm×20cm基片范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了薄膜不均勻性小于5％。