快恢復(fù)Pin二極管及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711314373.6 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN108054197B 公開(公告)日 2018-05-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN108054197B 申請(qǐng)公布日 2018-05-18
分類號(hào) H01L29/06(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)(專利權(quán))人 超儀科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳峰誠志合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 超儀科技股份有限公司
地址 314000浙江省嘉興市秀洲區(qū)油車港鎮(zhèn)正陽西路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種快恢復(fù)Pin二極管及其制造方法。所述快恢復(fù)Pin二極管包括N型襯底、形成所述N型襯底上的N型外延層、形成于所述N型外延層遠(yuǎn)離所述N型襯底的表面切間隔設(shè)置的兩個(gè)P型注入?yún)^(qū)、形成于每個(gè)P型注入?yún)^(qū)表面的P型高摻雜區(qū)、形成于所述N型外延層、所述P型注入?yún)^(qū)、及所述P型高摻雜區(qū)上的P型低摻雜注入?yún)^(qū)。??