蒸發(fā)臺(tái)火山口清理箱

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123345184.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN216501435U 公開(kāi)(公告)日 2022-05-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN216501435U 申請(qǐng)公布日 2022-05-13
分類號(hào) B08B15/04(2006.01)I;B08B17/00(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 孟恒;劉君;孔斯 申請(qǐng)(專利權(quán))人 山東晶導(dǎo)微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)寧匯景知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 273100山東省濟(jì)寧市曲阜市春秋東路166號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及坩堝技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及蒸發(fā)臺(tái)火山口清理箱:箱體,箱體的底部和頂部分別以能夠打開(kāi)方式設(shè)置有頂蓋和底蓋;通孔,通孔沿豎向開(kāi)設(shè)在底蓋上;伸縮套筒,伸縮套筒外壁與通孔內(nèi)壁以間隙方式滑動(dòng)配合;擴(kuò)口,擴(kuò)口呈喇叭狀結(jié)構(gòu)固設(shè)在伸縮套筒上部;限位環(huán),限位環(huán)套設(shè)在伸縮套筒外壁,且限位環(huán)位于底蓋下部;通過(guò)以伸縮方式設(shè)置伸縮套筒,將伸縮套筒下端口直接放在火山口處,對(duì)噴出的材料及時(shí)收集,避免材料的崩濺造成其他部件的污染;通過(guò)設(shè)置箱體,能夠延長(zhǎng)該裝置的使用周期,無(wú)需每天清理,節(jié)省時(shí)間,該裝置整體上提升了作業(yè)效率、降低了安全風(fēng)險(xiǎn),為企業(yè)創(chuàng)造了極好的效益。