一種手動(dòng)探針測(cè)試工作臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123357576.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216646581U | 公開（公告）日 | 2022-05-31 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216646581U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-31 |
| 分類號(hào) | G01R1/04（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 孟恒;劉君;孔魯 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 山東晶導(dǎo)微電子股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 濟(jì)寧匯景知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 273100山東省濟(jì)寧市曲阜市春秋東路166號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開一種手動(dòng)探針測(cè)試工作臺(tái)，包括載臺(tái)底座、XY軸移動(dòng)平臺(tái)、Z軸移動(dòng)平臺(tái)和測(cè)試裝置；所述XY軸移動(dòng)平臺(tái)以能夠在水平方向移動(dòng)的方式被設(shè)置于所述載臺(tái)底座，且所述XY軸移動(dòng)平臺(tái)的頂面設(shè)置有絕緣座，所述絕緣座的頂部設(shè)置有銅板；所述Z軸移動(dòng)平臺(tái)以能夠在豎直方向移動(dòng)的方式被設(shè)置于所述載臺(tái)底座，并位于所述XY軸移動(dòng)平臺(tái)的正上方，所述Z軸移動(dòng)平臺(tái)于水平方向設(shè)置有正對(duì)所述銅板的環(huán)形槽；所述測(cè)試裝置包括顯像元件和探邊元件，其中所述顯像元件以在所述Z軸移動(dòng)平臺(tái)的上方正對(duì)所述銅板的方式固定設(shè)置于所述載臺(tái)底座，所述探邊元件被固定設(shè)置于所述環(huán)形槽的側(cè)壁。本申請(qǐng)能夠快速、穩(wěn)定、準(zhǔn)確的測(cè)試半導(dǎo)體元件，尤其是小顆粒晶體。 |
