一種光譜共焦位移傳感探頭和傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111666890.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114353668A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-04-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114353668A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-04-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B11/02（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李君宇;賴(lài)蕓;王丹;虞傳慶;王鵬 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 煙臺(tái)睿創(chuàng)微納技術(shù)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 薛晨光 |
| 地址 | 264006山東省煙臺(tái)市煙臺(tái)開(kāi)發(fā)區(qū)貴陽(yáng)大街11號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種光譜共焦位移傳感探頭和傳感器，包括準(zhǔn)直透鏡，用于消除進(jìn)入光譜共焦位移傳感探頭的光束的色差并準(zhǔn)直光束；與準(zhǔn)直透鏡相對(duì)設(shè)置的超表面透鏡，用于聚焦準(zhǔn)直后光束并使聚焦后光束在光軸方向上發(fā)生色散；超表面透鏡包括襯底，及設(shè)于襯底的第一表面和/或第二表面的多個(gè)微結(jié)構(gòu)，多個(gè)微結(jié)構(gòu)的高度相等，且襯底和微結(jié)構(gòu)中至少微結(jié)構(gòu)采用半導(dǎo)體工藝制備；第一表面為襯底與準(zhǔn)直透鏡相對(duì)的表面，第二表面與第一表面相背。探頭只需設(shè)置一個(gè)超表面透鏡和一個(gè)準(zhǔn)直透鏡即可，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，且表面透鏡中所有微結(jié)構(gòu)的高度相等，進(jìn)一步簡(jiǎn)化探頭結(jié)構(gòu)；襯底和微結(jié)構(gòu)均采用半導(dǎo)體工藝制備，所以可以采用半導(dǎo)體工藝大規(guī)模生產(chǎn)，降低成本。 |
