一種光譜共焦位移傳感探頭和傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111666890.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114353668A 公開（公告）日 2022-04-15
申請公布號 CN114353668A 申請公布日 2022-04-15
分類號 G01B11/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李君宇;賴蕓;王丹;虞傳慶;王鵬 申請（專利權(quán)）人 煙臺睿創(chuàng)微納技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 薛晨光
地址 264006山東省煙臺市煙臺開發(fā)區(qū)貴陽大街11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種光譜共焦位移傳感探頭和傳感器，包括準直透鏡，用于消除進入光譜共焦位移傳感探頭的光束的色差并準直光束；與準直透鏡相對設(shè)置的超表面透鏡，用于聚焦準直后光束并使聚焦后光束在光軸方向上發(fā)生色散；超表面透鏡包括襯底，及設(shè)于襯底的第一表面和/或第二表面的多個微結(jié)構(gòu)，多個微結(jié)構(gòu)的高度相等，且襯底和微結(jié)構(gòu)中至少微結(jié)構(gòu)采用半導(dǎo)體工藝制備；第一表面為襯底與準直透鏡相對的表面，第二表面與第一表面相背。探頭只需設(shè)置一個超表面透鏡和一個準直透鏡即可，結(jié)構(gòu)簡單，且表面透鏡中所有微結(jié)構(gòu)的高度相等，進一步簡化探頭結(jié)構(gòu)；襯底和微結(jié)構(gòu)均采用半導(dǎo)體工藝制備，所以可以采用半導(dǎo)體工藝大規(guī)模生產(chǎn)，降低成本。