一種雙色偏振非制冷紅外探測(cè)器及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010801748.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111896120B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111896120B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-22 |
| 分類號(hào) | G01J5/10（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李君宇;易飛;王鵬;甘先鋒;董珊;陳文禮;王宏臣 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 煙臺(tái)睿創(chuàng)微納技術(shù)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王曉坤 |
| 地址 | 264006山東省煙臺(tái)市煙臺(tái)開(kāi)發(fā)區(qū)貴陽(yáng)大街11號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種雙色偏振非制冷紅外探測(cè)器及其制作方法，包括由下向上設(shè)置的基底層、第一懸空層、第二懸空層，第二懸空層包括第二支撐層和線柵層；線柵層包括多個(gè)超像元區(qū)域，每個(gè)超像元區(qū)域包括呈矩陣排列的第一子超像元區(qū)域、第二子超像元區(qū)域、第三子超像元區(qū)域、第四子超像元區(qū)域，第一子超像元區(qū)域、第二子超像元區(qū)域、第三子超像元區(qū)域、第四子超像元區(qū)域中均包括四個(gè)線柵像元區(qū)域，每個(gè)線柵像元區(qū)域中線柵朝向角度均不同，且第一子超像元區(qū)域和第四子超像元區(qū)域?qū)?yīng)的絕緣介質(zhì)層的厚度大于第二子超像元區(qū)域和第三子超像元區(qū)域?qū)?yīng)的絕緣介質(zhì)層的厚度。本申請(qǐng)的紅外探測(cè)器在實(shí)現(xiàn)偏振雙色成像的條件下，保證工作視場(chǎng)不受影響。 |
