一種非制冷紅外偏振探測像元結(jié)構(gòu)、芯片及探測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111276820.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114001832A 公開（公告）日 2022-02-01
申請公布號 CN114001832A 申請公布日 2022-02-01
分類號 G01J5/48（2006.01）I;G01J5/08（2022.01）I;G01J5/20（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉天德;董珊;甘先鋒;王鵬;陳文禮;王宏臣 申請（專利權(quán)）人 煙臺睿創(chuàng)微納技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 呂鑫
地址 264006山東省煙臺市開發(fā)區(qū)貴陽大街11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種非制冷紅外偏振探測像元結(jié)構(gòu)，通過將光柵層的通光區(qū)域設(shè)置成對應(yīng)偏振方向的正多邊形，可以保證該通光區(qū)域中對應(yīng)不同偏振方向的光柵除偏振方向不同之外均具有相同的形貌，從而保證對于多個預(yù)設(shè)偏振方向的入射光該光柵層均具有相同的透過效率。通過將像元層設(shè)置成與透光區(qū)域相對應(yīng)的正多邊形，同時在像元層表面設(shè)置吸收單元，可以排除像元層中電極造成的偏振選擇吸收特性的影響，使得紅外探測像元的光吸收偏振不敏感，從而保證像元層對不同偏振方向的光線響應(yīng)一致，避免響應(yīng)非均勻性的問題。本發(fā)明還提供了一種芯片以及探測器，同樣具有上述有益效果。