一種非制冷紅外光譜芯片及其制備方法、紅外光譜儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111645245.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114279565A 公開（公告）日 2022-04-05
申請公布號 CN114279565A 申請公布日 2022-04-05
分類號 G01J3/28（2006.01）I;G01J3/02（2006.01）I;B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李君宇;王丹;賴蕓;虞傳慶;王鵬;甘先鋒;董珊;陳文禮;王宏臣 申請（專利權）人 煙臺睿創(chuàng)微納技術股份有限公司
代理機構 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 薛晨光
地址 264006山東省煙臺市煙臺開發(fā)區(qū)貴陽大街11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種非制冷紅外光譜芯片及其制備方法和紅外光譜儀，包括多個不同的第一光譜像元，每個第一光譜像元包括由下至上疊加的第一懸空像元結構和第二懸空像元結構；第二懸空像元結構包括微結構層，微結構層包括多個使第一光譜像元的光譜響應為寬帶響應的特征微結構。本申請中的紅外光譜芯片包括多個第一光譜像元，第一光譜像元包括第一懸空像元結構和第二懸空像元結構，且第二懸空像元結構包括多個特征微結構，使得第一光譜像元的光譜響應為寬帶響應；由于本申請中直接在紅外光譜芯片上設置特征微結構，降低入射光在紅外探測器上的串擾，提升光譜測量精度，同時還可以提升紅外探測器的良率，即提升紅外光譜儀的良率。