一種非制冷紅外光譜芯片及其制備方法、紅外光譜儀
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111645245.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114279565A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-04-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114279565A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-04-05 |
| 分類號(hào) | G01J3/28（2006.01）I;G01J3/02（2006.01）I;B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李君宇;王丹;賴蕓;虞傳慶;王鵬;甘先鋒;董珊;陳文禮;王宏臣 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 煙臺(tái)睿創(chuàng)微納技術(shù)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 薛晨光 |
| 地址 | 264006山東省煙臺(tái)市煙臺(tái)開(kāi)發(fā)區(qū)貴陽(yáng)大街11號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種非制冷紅外光譜芯片及其制備方法和紅外光譜儀，包括多個(gè)不同的第一光譜像元，每個(gè)第一光譜像元包括由下至上疊加的第一懸空像元結(jié)構(gòu)和第二懸空像元結(jié)構(gòu)；第二懸空像元結(jié)構(gòu)包括微結(jié)構(gòu)層，微結(jié)構(gòu)層包括多個(gè)使第一光譜像元的光譜響應(yīng)為寬帶響應(yīng)的特征微結(jié)構(gòu)。本申請(qǐng)中的紅外光譜芯片包括多個(gè)第一光譜像元，第一光譜像元包括第一懸空像元結(jié)構(gòu)和第二懸空像元結(jié)構(gòu)，且第二懸空像元結(jié)構(gòu)包括多個(gè)特征微結(jié)構(gòu)，使得第一光譜像元的光譜響應(yīng)為寬帶響應(yīng)；由于本申請(qǐng)中直接在紅外光譜芯片上設(shè)置特征微結(jié)構(gòu)，降低入射光在紅外探測(cè)器上的串?dāng)_，提升光譜測(cè)量精度，同時(shí)還可以提升紅外探測(cè)器的良率，即提升紅外光譜儀的良率。 |
