一種帶位置檢測功能的晶圓傳輸機械手
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202110642044.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN113436992A | 公開（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請公布號 | CN113436992A | 申請公布日 | 2021-09-24 |
| 分類號 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 王沖;傅立超 | 申請（專利權(quán)）人 | 寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 高凌 |
| 地址 | 315400浙江省寧波市余姚市新橋村村委東首 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種帶位置檢測功能的晶圓傳輸機械手，涉及機械手技術(shù)領(lǐng)域；包括底座、和底座滑動連接的用以支撐晶圓的手指、用以驅(qū)動手指在底座上運動的驅(qū)動裝置、若干組和底座固接的對射傳感器、用以移動底座的機械臂；對射傳感器的組數(shù)量至少組，對射傳感器處于一個虛擬圓上，虛擬圓的半徑和晶圓的半徑適配；手指包括和底座滑動連接的滑塊、和滑塊固接的呈C字形的指部、位于指部內(nèi)側(cè)的若干用以給晶圓限位的限位塊、和限位塊固接的用以支撐晶圓下側(cè)的支撐板；對于標準尺寸的晶圓，其半徑標準，限位塊均抵靠在晶圓的邊緣處，將該晶圓的圓心相對手指的位置命名為真圓心。本發(fā)明晶圓放置精度高。另外，采用兩個手指交替?zhèn)鬏?，提高效率?/td> |
