一種片盒翻轉(zhuǎn)組件、浸泡池和去膠機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120532811.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214313149U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214313149U 申請公布日 2021-09-28
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉曉龍;沈云清 申請（專利權(quán)）人 寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江中桓凱通專利代理有限公司 代理人 李美寶
地址 315400浙江省寧波市余姚市陽明街道新橋村村口1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種片盒翻轉(zhuǎn)組件，包括：主動(dòng)軸，設(shè)有第一傳動(dòng)端；旋轉(zhuǎn)支撐桿，與所述主動(dòng)軸交錯(cuò)，并通過齒輪組件傳動(dòng)連接所述第一傳動(dòng)端；片盒固定組件兩端各設(shè)有一個(gè)旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)件，旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)件軸連接旋轉(zhuǎn)支撐桿，片盒固定組件還包括連接所述旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)件的片盒安裝板；其中，至少一個(gè)所述旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)件上設(shè)有限位組件。本實(shí)用新型解決了存放晶圓的片盒在浸泡池中無法旋轉(zhuǎn)并定位的問題。