一種用于勻膠顯影機(jī)熱處理模塊的冷卻裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110748798.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113448183A 公開（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113448183A 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) G03F7/26（2006.01）I;F25D17/02（2006.01）I;F25D17/06（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 耿克濤;劉金 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波高新區(qū)永創(chuàng)智誠(chéng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 胡小永
地址 315400浙江省寧波市余姚市陽明街道新橋村村委東首
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及勻膠顯影機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體是涉及一種用于勻膠顯影機(jī)熱處理模塊的冷卻裝置，包括勻膠顯影機(jī)機(jī)箱，每個(gè)豎向柜的內(nèi)部均設(shè)有熱處理單元模塊；水冷卻機(jī)構(gòu)，其數(shù)量與熱處理單元模塊的數(shù)量相同且一一對(duì)應(yīng)的設(shè)置在每個(gè)熱處理單元模塊的底部，水冷卻機(jī)構(gòu)包括水冷板底板；通風(fēng)機(jī)構(gòu)，其數(shù)量與熱處理單元模塊的數(shù)量相同且一一對(duì)應(yīng)的設(shè)置在每個(gè)熱處理單元模塊的上方，每個(gè)通風(fēng)機(jī)構(gòu)均包括進(jìn)風(fēng)通道和排風(fēng)通道；恒溫器；總進(jìn)風(fēng)管道；鼓風(fēng)機(jī)；總出風(fēng)管道，該設(shè)備能夠高效且持續(xù)的將加熱處理單元模塊進(jìn)行冷卻，并且能夠自動(dòng)的將加熱處理單元模塊產(chǎn)生的多余熱量抽走，提高冷卻效率。