一種用于勻膠顯影機(jī)的HMDS防漏保護(hù)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110718670.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113376977A 公開（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113376977A 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) G03F7/30;G03F7/16 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 耿克濤;劉金 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波高新區(qū)永創(chuàng)智誠(chéng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 胡小永
地址 315400 浙江省寧波市余姚市陽(yáng)明街道新橋村村委東首
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及HMDS處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體是涉及一種用于勻膠顯影機(jī)的HMDS防漏保護(hù)裝置，包括：HMDS罐；密封保護(hù)罩；氮?dú)馍狭蠙C(jī)構(gòu)；還包括：機(jī)架；排風(fēng)機(jī)構(gòu)，安裝在機(jī)架上，排風(fēng)機(jī)構(gòu)的抽氣端設(shè)置在密封保護(hù)罩內(nèi)部；吸收機(jī)構(gòu)，設(shè)置在排風(fēng)機(jī)構(gòu)上；自動(dòng)回收機(jī)構(gòu)，設(shè)置在機(jī)架上，自動(dòng)回收機(jī)構(gòu)的抽氣端與密封保護(hù)罩內(nèi)側(cè)頂端密封連接；控制器，設(shè)置在密封保護(hù)罩外側(cè)壁上；泄露檢測(cè)傳感器，設(shè)置在密封保護(hù)罩內(nèi)側(cè)，泄露檢測(cè)傳感器與控制器電連接；密封保護(hù)罩外側(cè)壁上安裝有警報(bào)器，警報(bào)器與泄露檢測(cè)傳感器和控制器均電連接，本發(fā)明所示設(shè)備可以完全杜絕因?yàn)镠MDS泄露造成的安全事故，若發(fā)生泄露則發(fā)出報(bào)警信號(hào)，切斷原料供應(yīng)，避免持續(xù)泄露，對(duì)泄露的HMDS進(jìn)行收集。