一種OLED掩膜版OpenMask表面LiF材料清洗方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011449274.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112676243A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112676243A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類(lèi)號(hào) | B08B3/12(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I | 分類(lèi) | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 惠朝先;邱俊;呂先鋒;王佳欣;李奎;向志強(qiáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 四川富樂(lè)德科技發(fā)展有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京盛凡智榮知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 林淡如 |
| 地址 | 641000四川省內(nèi)江市市中區(qū)安泰路691號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種OLED掩膜版Open Mask表面LiF材料清洗方法，包括以下步驟：步驟10、固定；步驟20、藥水配置；步驟30、超聲波振板安裝；步驟40、去除膜層；步驟50、溢流超聲波清洗；步驟60、脫水；步驟70、干燥。本發(fā)明通過(guò)對(duì)藥水類(lèi)型的選擇和比例的控制，能夠在不損傷產(chǎn)品本體的情況下使LiF膜層從Open Mask部件表面剝離，從而實(shí)現(xiàn)Open Mask部件洗凈再生、二次利用的目的。?? |
