諧振器和諧振器的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110394295.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112953445A 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN112953445A 申請公布日 2021-06-11
分類號 H03H9/15;H03H3/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李紅浪;許欣;柯亞兵 申請（專利權）人 廣東省廣納科技發(fā)展有限公司
代理機構 上海專利商標事務所有限公司 代理人 鄧曄
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)開源大道136號D棟1004室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種諧振器和諧振器的制造方法，該諧振器的特征在于，包括：襯底；反射層，該反射層形成在襯底上，并且包括一個或多個彼此堆疊形成的聲速層組，該聲速層組包括第一聲速層以及形成在第一聲速層上并且具有比所述第一聲速層具有的聲速要小的聲速的第二聲速層；以及壓電層，該壓電層由PMNT材料形成并且形成在反射層上。