一種蘭姆波諧振器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011112294.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN112260658A 公開(kāi)(公告)日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN112260658A 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) H03H9/02;H03H9/25;H03H3/08 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李紅浪;許欣 申請(qǐng)(專利權(quán))人 廣東省廣納科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 鄧曄;張?chǎng)?/td>
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)開(kāi)源大道136號(hào)D棟1004室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種蘭姆波諧振器及其制造方法,其特征在于,該蘭姆波諧振器包括:襯底,該襯底具有高聲阻抗;壓電層,該壓電層上形成有電極和匯流條,以及金屬層,所述金屬層設(shè)置在所述壓電層和所述襯底之間,并且相對(duì)于所述襯底具有低聲阻抗,其中,在所述壓電層的上表面形成有沿所述電極的長(zhǎng)度方向延伸的槽。