一種硅片紅外烘烤裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021645492.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213631342U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213631342U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-06 |
| 分類(lèi)號(hào) | F26B11/18;F26B3/30;F26B25/18;F26B25/00;F26B25/02;F26B25/12 | 分類(lèi) | 干燥; |
| 發(fā)明人 | 初亞?wèn)| | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 天津天物金佰微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津企興智財(cái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李彥彥 |
| 地址 | 300385 天津市西青區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)賽達(dá)工業(yè)園5號(hào)廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種硅片紅外烘烤裝置，包括工作臺(tái)、轉(zhuǎn)盤(pán)、FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組、片籃；所述工作臺(tái)為三層結(jié)構(gòu)，中間層設(shè)有與轉(zhuǎn)盤(pán)對(duì)應(yīng)的安裝位，底層設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件，上層用于安裝FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組；所述中間層還設(shè)有柱形外殼，轉(zhuǎn)盤(pán)置于柱形外殼內(nèi)；所述轉(zhuǎn)盤(pán)上設(shè)有若干用于放置片籃的工作位；所述柱形外殼頂部中心向上延伸設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)，錐形結(jié)構(gòu)頂部為排風(fēng)口；所述柱形外殼頂部錐形結(jié)構(gòu)四周設(shè)有若干送風(fēng)口，所述送風(fēng)口通過(guò)風(fēng)管連接FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組。本實(shí)用新型所述的一種硅片紅外烘烤裝置，采用FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組送風(fēng)，烘烤過(guò)程更潔凈；多工位工作，可以放置更多的硅片片籃，烘烤效率更高；采用紅外燈與轉(zhuǎn)盤(pán)的組合，使烘烤效果更好。 |
