一種提高腐蝕液交換速率及均勻性的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821633299.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN209423372U 公開(kāi)(公告)日 2019-09-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN209423372U 申請(qǐng)公布日 2019-09-24
分類號(hào) B01F7/00 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 初亞?wèn)| 申請(qǐng)(專利權(quán))人 天津天物金佰微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津?yàn)I海科緯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 天津天物金佰微電子有限公司
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法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種提高腐蝕液交換速率及均勻性的裝置,包括槽體和旋轉(zhuǎn)花籃;所述槽體為上端開(kāi)口的箱體,所述旋轉(zhuǎn)花籃可旋轉(zhuǎn)固定在所述槽體內(nèi)的空腔中,與所述旋轉(zhuǎn)花籃的旋轉(zhuǎn)軸心垂直的截面為多個(gè)豎直截面,所述槽體由該豎直截面截取的截面呈梯形,且該槽體梯形截面的下底邊長(zhǎng)度小于上底邊長(zhǎng)度;該槽體的底面板上設(shè)有腐蝕液入口,所述腐蝕液入口位于所述旋轉(zhuǎn)花籃的旋轉(zhuǎn)軸心正下方。本實(shí)用新型所述的提高腐蝕液交換速率及均勻性的裝置,避免了槽體內(nèi)底角部位由于流速差異導(dǎo)致的腐蝕液交換“死角”,且可以通過(guò)調(diào)節(jié)槽體兩側(cè)傾角,來(lái)有效調(diào)節(jié)通過(guò)花籃兩側(cè)的腐蝕液流量,達(dá)到均勻交換的目的。