一種硅片涂膠裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201821624903.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN209423964U | 公開（公告）日 | 2019-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209423964U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-09-24 |
| 分類號(hào) | B05C5/02;B05C9/10;B05C11/10;B05C13/02;B05C15/00 | 分類 | 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 張淑云 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 天津天物金佰微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津?yàn)I?？凭曋R(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 天津天物金佰微電子有限公司 |
| 地址 | 300000 天津市西青區(qū)西青經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)賽達(dá)工業(yè)園5號(hào)廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種硅片涂膠裝置，包括廢膠托板及廢膠托盤上的真空吸片托盤，廢膠托盤及真空吸片托盤設(shè)置在保護(hù)罩內(nèi)；在保護(hù)罩的側(cè)壁上還分別設(shè)置有第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂；第一機(jī)械臂上設(shè)置有注膠管，注膠管伸入至真空吸片托盤上；第二機(jī)械臂上設(shè)置有增粘劑管和氮?dú)獯祾吖埽稣硠┕芏瞬吭O(shè)置有增粘劑噴嘴，氮?dú)獯祾吖艽┻^(guò)保護(hù)罩側(cè)壁與氮?dú)馄窟B接。本實(shí)用新型所述的裝置在甩膠前進(jìn)行氮?dú)獯祾?，吹掉硅片表面的灰塵，防止光刻后形成針孔，通過(guò)注膠管及第一機(jī)械臂的配合實(shí)現(xiàn)注膠位置的定位，進(jìn)一步的通過(guò)控制閥門實(shí)現(xiàn)注膠量恒定控制，對(duì)于返工片，可噴入增粘劑以保證返工硅片和膠水之間的粘附性，保證光刻質(zhì)量。 |
