去邊機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021647060.X 申請日 -
公開（公告）號 CN212750817U 公開（公告）日 2021-03-19
申請公布號 CN212750817U 申請公布日 2021-03-19
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 初亞東 申請（專利權(quán)）人 天津天物金佰微電子有限公司
代理機構(gòu) 天津企興智財知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李彥彥
地址 300385天津市西青區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)賽達(dá)工業(yè)園5號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種去邊機，包括主動機構(gòu)以及從動機構(gòu)，主動機構(gòu)包括壓片盤，從動機構(gòu)包括載片臺，壓片盤與載片臺相對設(shè)置，壓片盤與載片臺之間形成用于固定晶圓的容納空間；壓片盤遠(yuǎn)離載片臺一側(cè)與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機的輸出軸連接，載片臺遠(yuǎn)離壓片盤一側(cè)設(shè)有支撐桿，載片臺與支撐桿轉(zhuǎn)動連接；還包括設(shè)置在載片臺側(cè)方的用于對晶圓邊緣去邊的去邊噴嘴。本實用新型所述的去邊機通過壓片盤、載片臺夾緊晶圓并帶動晶圓旋轉(zhuǎn)，同時再通過設(shè)置在載片臺側(cè)方的去邊噴嘴對晶圓邊緣部位進(jìn)行周向的吹除，提高了工作效率同時提高了剔除質(zhì)量，降低了廢品率。??