去邊機
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010796210.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112002657A | 公開（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申請公布號 | CN112002657A | 申請公布日 | 2020-11-27 |
| 分類號 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 初亞東 | 申請（專利權(quán)）人 | 天津天物金佰微電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 天津企興智財知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 天津天物金佰微電子有限公司 |
| 地址 | 300385天津市西青區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)賽達工業(yè)園5號廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種去邊機，包括主動機構(gòu)以及從動機構(gòu)，主動機構(gòu)包括壓片盤，從動機構(gòu)包括載片臺，壓片盤與載片臺相對設(shè)置，壓片盤與載片臺之間形成用于固定晶圓的容納空間；壓片盤遠離載片臺一側(cè)與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機的輸出軸連接，載片臺遠離壓片盤一側(cè)設(shè)有支撐桿，載片臺與支撐桿轉(zhuǎn)動連接；還包括設(shè)置在載片臺側(cè)方的用于對晶圓邊緣去邊的去邊噴嘴。本發(fā)明所述的去邊機通過壓片盤、載片臺夾緊晶圓并帶動晶圓旋轉(zhuǎn)，同時再通過設(shè)置在載片臺側(cè)方的去邊噴嘴對晶圓邊緣部位進行周向的吹除，提高了工作效率同時提高了剔除質(zhì)量，降低了廢品率。?? |
