用磁控濺射法生產(chǎn)CdS/CdTe太陽能電池的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910164225.X 申請日 -
公開（公告）號 CN101640233A 公開（公告）日 2010-02-03
申請公布號 CN101640233A 申請公布日 2010-02-03
分類號 H01L31/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 侯仁義 申請（專利權(quán)）人 四川阿波羅太陽能科技有限責任公司
代理機構(gòu) 成都科海專利事務(wù)有限責任公司 代理人 四川阿波羅太陽能科技有限責任公司;成都中建材光電材料有限公司
地址 610207四川省成都市雙流縣西南航空港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)騰飛三路485號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了用磁控濺射法生產(chǎn)CdS/CdTe太陽能電池的裝置，其特點是該裝置由CdS/CdTe的形成，CdCl2熱處理和背電極制作裝置組成。CdS/CdTe的形成裝置依次由進料倉(1)、CdS鍍膜倉(2)、過渡倉(3)、CdTe鍍膜倉(4)和出料倉(5)組成，CdCl2熱處理采用近空間升華法裝置將CdCl2鍍在CdS/CdTe面上，背電極制作裝置與CdS/CdTe形成裝置基本相同，只是將CdS鍍膜倉換成ZnTe鍍膜倉，CdTe鍍膜倉換成Ni鍍膜倉。然后采用磁控濺射法將CdS、CdTe、CdCl2、ZnTe:Cu和Ni分別濺射到經(jīng)清洗激光刻的導電玻璃工件上，用超聲焊機焊上引出電極，用UV膠在電池背面涂覆約200～500μm厚的膠膜，經(jīng)UV干燥機干燥后形成完整的太陽能電池。