一種多功能硅基液晶芯片在線檢測系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110142195.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112858343B 公開（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN112858343B 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類號(hào) G01N21/956（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 夏高飛;宇磊磊;張寧峰;王華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安中科微星光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市科進(jìn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 魏毅宏
地址 710000陜西省西安市高新區(qū)畢原二路3000號(hào)西科控股硬科技企業(yè)社區(qū)3號(hào)樓301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種多功能硅基液晶芯片在線檢測系統(tǒng)，硅基液晶芯片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，包括控制模塊、檢測模塊、判定模塊、輸出模塊；控制模塊分別與檢測模塊、判定模塊、輸出模塊電性連接，用于控制檢測模塊、判定模塊、輸出模塊的工作；檢測模塊用于晶圓的來料檢測和封裝后cell的檢測；判定模塊接收檢測模塊的檢測結(jié)果，并與合格標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較、判定；輸出模塊接收在檢測結(jié)果及對(duì)應(yīng)的判定結(jié)果，并將信息分類反饋給生產(chǎn)線前端和后端。本發(fā)明的檢測系統(tǒng)及方法，集成度高、操作簡單，容易集成到各個(gè)硅基液晶芯片生產(chǎn)線上，并及時(shí)將產(chǎn)品品質(zhì)信息反饋到生產(chǎn)前端和后端，大大提升檢測效率及準(zhǔn)確率，減少殘次品的產(chǎn)生，降低生產(chǎn)廠家的成本，提升行業(yè)競爭力。