一種制備表面混合調(diào)制晶硅太陽(yáng)能電池的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910080054.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101840953B 公開（公告）日 2011-10-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN101840953B 申請(qǐng)公布日 2011-10-12
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 賈銳;朱晨昕;陳晨;李維龍;張培文;劉明;劉新宇;葉甜春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 徐州中科立晟新能源技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所;徐州中科立晟新能源技術(shù)有限公司
地址 100029 北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備表面混合調(diào)制晶硅太陽(yáng)能電池的方法，包括：在晶硅基板正面和背面制備絨面結(jié)構(gòu)；將正面和背面均有絨面結(jié)構(gòu)的晶硅基板放置于擴(kuò)散爐中進(jìn)行擴(kuò)散，形成雙面PN結(jié)；在晶硅基板正面淀積Si薄膜，退火形成硅納米晶；在晶硅基板正面淀積金屬薄膜，退火形成金屬納米晶；在晶硅基板正面和背面生長(zhǎng)Si3N4減反膜；采用絲網(wǎng)印刷在晶硅基板的背面印刷的正電極，并進(jìn)行熱處理固化；然后采用絲網(wǎng)印刷在晶硅基板的正面印刷的負(fù)電極，并進(jìn)行熱處理固化；合金退火，制備出表面硅納米晶和金屬納米晶混合調(diào)制晶硅太陽(yáng)能電池。本發(fā)明通過表面硅納米晶和金屬納米晶混合調(diào)制方式，充分地轉(zhuǎn)換短波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光，使其被晶硅電池吸收，達(dá)到高效轉(zhuǎn)換的目的。