二硅烷基胺和聚硅烷基胺的合成

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201680072355.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108431013A 公開（公告）日 2018-08-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN108431013A 申請(qǐng)公布日 2018-08-21
分類號(hào) C07F7/10;C07F7/20;H01L21/02 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 X·周 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南大光電半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京泛華偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 美國(guó)陶氏有機(jī)硅公司
地址 美國(guó)密歇根州
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供用于制備硅烷基胺，諸如二硅烷基胺和聚硅烷基胺，以及包含所述硅烷基胺的組合物的方法。在一個(gè)實(shí)施方案中，本發(fā)明提供用于制備硅烷基胺化合物的方法，所述方法包括使通式RR1N?(SixH2x+1)的起始化合物與通式R2R3NH的胺化合物反應(yīng)以制備通式R2mR3n?N(SixH2x+1)3?m?n的硅烷基胺化合物。