1,1,1-三(有機(jī)氨基)二硅烷化合物及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201880059969.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111094181A 公開(kāi)（公告）日 2020-05-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN111094181A 申請(qǐng)公布日 2020-05-01
分類號(hào) C01B33/04;C07F7/10;C23C16/00 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 B·K·黃;周孝賓 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南大光電半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京泛華偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 DDP特種電子材料美國(guó)第9有限公司
地址 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)勝浦鎮(zhèn)平勝路67號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開(kāi)了一種1,1,1?三(有機(jī)氨基)二硅烷化合物和一種制備所述1,1,1?三(有機(jī)氨基)二硅烷化合物的方法。所述方法包括用包含有機(jī)胺化合物的胺化劑將1,1,1?三鹵代二硅烷胺化，得到包含所述1,1,1?三(有機(jī)氨基)二硅烷化合物的反應(yīng)產(chǎn)物，從而制備所述1,1,1?三(有機(jī)氨基)二硅烷化合物。還公開(kāi)了一種成膜組合物。所述成膜組合物包含所述1,1,1?三(有機(jī)氨基)二硅烷化合物。還公開(kāi)了一種用所述成膜組合物形成的膜和一種形成所述膜的方法。形成所述膜的所述方法包括在基材存在下使包含所述1,1,1?三(有機(jī)氨基)二硅烷化合物的所述成膜組合物經(jīng)受沉積條件，從而在所述基材上形成所述膜。