三（乙硅烷基）胺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201680070868.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108431012B 公開（公告）日 2021-01-26
申請公布號 CN108431012B 申請公布日 2021-01-26
分類號 C07F7/02;C07F7/20;H01L21/02 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 B·D·瑞肯;X·周;B·K·黃;B·凱托拉 申請（專利權）人 南大光電半導體材料有限公司
代理機構 上海專利商標事務所有限公司 代理人 郭輝;陳哲鋒
地址 215126 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)勝浦鎮(zhèn)平勝路67號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于制備三（乙硅烷基）胺的方法。所述方法包括以下步驟：（a）使乙硅烷基（烷基）胺與氨接觸以制備二（乙硅烷基）胺；以及（b）使二（乙硅烷基）胺制備三（乙硅烷基）胺和氨。