二硅烷基胺和聚硅烷基胺的合成
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201680072355.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108431013B | 公開（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108431013B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-16 |
| 分類號(hào) | H01L21/02(2006.01)I;C07F7/20(2006.01)I;C07F7/10(2006.01)I | 分類 | 有機(jī)化學(xué)〔2〕; |
| 發(fā)明人 | X·周 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南大光電半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京市金杜律師事務(wù)所 | 代理人 | 吳亦華 |
| 地址 | 美國密歇根州 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供用于制備硅烷基胺，諸如二硅烷基胺和聚硅烷基胺，以及包含所述硅烷基胺的組合物的方法。在一個(gè)實(shí)施方案中，本發(fā)明提供用于制備硅烷基胺化合物的方法，所述方法包括使通式RR1N?(SixH2x+1)的起始化合物與通式R2R3NH的胺化合物反應(yīng)以制備通式R2mR3n?N(SixH2x+1)3?m?n的硅烷基胺化合物。?? |
