一種薄膜制備設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201822245710.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209836303U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-12-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209836303U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C18/00 | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 曾雄;惠述偉;張升飛 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 華夏易能（廣東）新能源科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京中政聯(lián)科專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 華夏易能（廣東）新能源科技有限公司;北京暉宏科技有限公司 |
| 地址 | 517000 廣東省河源市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)高新二路163號(hào)創(chuàng)業(yè)服務(wù)中心三樓309-5室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種薄膜制備設(shè)備，包括：將注入反應(yīng)液進(jìn)行化學(xué)沉積反應(yīng)的反應(yīng)槽(10)；設(shè)置在反應(yīng)槽(10)外部的循環(huán)裝置(20)，循環(huán)裝置(20)的一端與反應(yīng)槽(10)底部連通，另一端與反應(yīng)槽(10)上部連通，循環(huán)裝置(20)將經(jīng)反應(yīng)槽(10)上部溢出的反應(yīng)液輸送至外部加熱器加熱，然后經(jīng)反應(yīng)槽(10)底部的注液口注入該反應(yīng)液，還包括：至少一個(gè)加熱裝置(30)，設(shè)置在反應(yīng)槽(10)下部或底部外側(cè)，用于非接觸地對(duì)反應(yīng)槽(10)內(nèi)的反應(yīng)液加熱；測(cè)溫儀(40)，設(shè)置在反應(yīng)槽(10)上部出口附近，用于檢測(cè)反應(yīng)槽(10)溢流反應(yīng)液的溫度。采用本實(shí)施方案，有效地解決加熱時(shí)延問(wèn)題，并使反應(yīng)槽(10)內(nèi)反應(yīng)液迅速升溫的同時(shí)溫度均勻分布。 |
