一種用于鑄錠類超高純涂層石英坩堝及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011461134.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112626614A 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN112626614A 申請公布日 2021-04-09
分類號 C30B28/06;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 蘇光都;楊小剛;方志遠 申請（專利權）人 江西中昱新材料科技有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 王洋
地址 334100 江西省上饒市上饒縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)遠泉大道16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種用于鑄錠類超高純涂層石英坩堝的制備方法，包括：A)將第一粒度的超高純熔融石英砂、去離子水混合，球磨，得到漿料；所述第一粒度的超高純熔融石英砂的粒度為0.1mm～0.6mm；B)將所述漿料、第二粒度的超高純石英砂和硅溶膠混合，攪拌，得到超高純料漿；所述第二粒度的超高純石英砂的粒度為0～10μm；C)將超高純料漿涂覆在石英坩堝內表面，干燥，得到超高純涂層石英坩堝。本發(fā)明通過控制漿料和第二粒度的超高純石英砂的粒度，能夠在鑄錠過程中能形成平均的、致密的，通透的玻璃層，這用于鑄錠類單晶的石英陶瓷坩堝，能降低尾部紅區(qū)18mm，提高收益率7％。