直拉單晶爐水冷屏裝置及單晶爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111642121.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114381795A 公開（公告）日 2022-04-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114381795A 申請(qǐng)公布日 2022-04-22
分類號(hào) C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 丁亞國(guó);李玲玲;梁萬(wàn)亮;馬國(guó)忠;顧燕濱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧夏申和新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧夏三源鑫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫彥虎
地址 750000寧夏回族自治區(qū)銀川市開發(fā)區(qū)光明西路25號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種直拉單晶爐水冷屏裝置及單晶爐，屬于水冷屏裝置的技術(shù)領(lǐng)域，包括水冷屏，所述水冷屏的下端設(shè)置圓環(huán)形護(hù)套，所述圓環(huán)形護(hù)套與所述水冷屏的下端連接，水冷屏上部分為不銹鋼結(jié)構(gòu)，而單晶爐內(nèi)的加熱器的加熱溫度為1450℃，爐腔內(nèi)的環(huán)境溫度在1000℃以上，不銹鋼的耐高溫溫度為1000℃，在單晶爐內(nèi)爐內(nèi)溫度過(guò)高容易造成不銹鋼水冷屏高溫熔斷或爆裂，因此采用圓環(huán)形護(hù)套將水冷屏和圓環(huán)形護(hù)套固定在石英坩堝上方，避免水冷熱屏高溫熔斷或爆裂，同時(shí)通過(guò)圓環(huán)形護(hù)套能夠延伸水冷屏的長(zhǎng)度，延伸水冷熱屏的熱折射，有效保證單晶爐內(nèi)良好的溫度梯度。