直拉單晶爐水冷屏裝置及單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111639257.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114369865A 公開（公告）日 2022-04-19
申請公布號 CN114369865A 申請公布日 2022-04-19
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 丁亞國;李玲玲;梁萬亮;馬國忠;顧燕濱 申請（專利權(quán)）人 寧夏申和新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧夏三源鑫知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫彥虎
地址 750000寧夏回族自治區(qū)銀川市開發(fā)區(qū)光明西路25號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種直拉單晶爐水冷屏裝置，屬于提高晶棒收率工藝的技術(shù)領(lǐng)域，所述水冷屏的側(cè)壁與單晶爐的中軸線夾角為15°/2?20°，當(dāng)水冷屏與單晶爐的中軸線夾角為15°/2?20°時，使得整個熱場的溫度得到改變，使得晶棒固液界面的中心溫度與邊緣溫度接近，使得晶棒拉出后，晶棒的尾部的截面盡量接近水平，進(jìn)而晶棒的收率提高。