太陽(yáng)能電池的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810023756.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108258082B 公開（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN108258082B 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類號(hào) H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢小立 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 張家港協(xié)鑫集成科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 唐清凱
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港市楊舍鎮(zhèn)晨豐公路288號(hào)1-6
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)能電池的制備方法。上述太陽(yáng)能電池的制備方法，包括如下步驟：對(duì)預(yù)處理后的硅片背表面進(jìn)行離子注入處理；對(duì)進(jìn)行離子注入后的硅片背表面進(jìn)行退火處理；對(duì)退火后的硅片背表面進(jìn)行沉積磷源處理；對(duì)進(jìn)行沉積磷源后的硅片背表面進(jìn)行激光摻雜，形成選擇性發(fā)射極。上述太陽(yáng)能電池的制備方法，通過(guò)離子注入工藝和退火處理使太陽(yáng)能電池的雜質(zhì)離子摻雜更均勻；在退火處理后加入沉積磷源的步驟，使硅片表面生成一層磷硅玻璃層，避免了磷原子的推進(jìn)，控制摻雜水平；同時(shí)，采用離子注入和激光摻雜結(jié)合的工藝制備的太陽(yáng)能電池?zé)o需后續(xù)去除掩膜和二次擴(kuò)散等后續(xù)處理步驟，使太陽(yáng)能電池更易于工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)。