太陽能電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810023756.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108258082A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN108258082A 申請公布日 2021-06-04
分類號 H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢小立 申請（專利權(quán)）人 張家港協(xié)鑫集成科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 唐清凱
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港市楊舍鎮(zhèn)晨豐公路288號1-6
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種太陽能電池的制備方法。上述太陽能電池的制備方法，包括如下步驟：對預(yù)處理后的硅片背表面進(jìn)行離子注入處理；對進(jìn)行離子注入后的硅片背表面進(jìn)行退火處理；對退火后的硅片背表面進(jìn)行沉積磷源處理；對進(jìn)行沉積磷源后的硅片背表面進(jìn)行激光摻雜，形成選擇性發(fā)射極。上述太陽能電池的制備方法，通過離子注入工藝和退火處理使太陽能電池的雜質(zhì)離子摻雜更均勻；在退火處理后加入沉積磷源的步驟，使硅片表面生成一層磷硅玻璃層，避免了磷原子的推進(jìn)，控制摻雜水平；同時(shí)，采用離子注入和激光摻雜結(jié)合的工藝制備的太陽能電池?zé)o需后續(xù)去除掩膜和二次擴(kuò)散等后續(xù)處理步驟，使太陽能電池更易于工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)。