一種芯片制程中環(huán)境友好的定影方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110918731.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113741157A 公開（公告）日 2021-12-03
申請公布號 CN113741157A 申請公布日 2021-12-03
分類號 G03F7/40（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 崔恩密;王愛明 申請（專利權）人 泗洪明芯半導體有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 223900江蘇省宿遷市泗洪縣開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園西區(qū)4#廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種芯片制程中環(huán)境友好的定影方法，包括：顯影去除硅片上未曝光的光刻膠，定影除去上述工序中殘留顯影液及少量雜質。所述顯影液為芯片行業(yè)通用顯影液，即碳氫溶劑，顯影溫度25℃，顯影時間一分鐘，定影液為純水，或純水中復配少許醇類溶劑、醇醚類溶劑、醇醚酯溶劑、酮類溶劑及有一定揮發(fā)性的表面活性劑、非離子表面活性劑。該發(fā)明拋棄了目前行業(yè)中通用的常規(guī)有機定影液技術，而采用水性物質作為定影液，不但大大降低了常規(guī)定影液的采購成本及由此產(chǎn)生的危險廢棄物處理成本，而且減少了芯片行業(yè)VOC的排放量，為環(huán)境友好、環(huán)?？沙掷m(xù)發(fā)展做出了一定貢獻，具有較高的經(jīng)濟效益和社會效益。