一種芯片制程中環(huán)境友好的定影方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110918731.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113741157A 公開（公告）日 2021-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN113741157A 申請(qǐng)公布日 2021-12-03
分類號(hào) G03F7/40（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 崔恩密;王愛明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 泗洪明芯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 223900江蘇省宿遷市泗洪縣開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園西區(qū)4#廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種芯片制程中環(huán)境友好的定影方法，包括：顯影去除硅片上未曝光的光刻膠，定影除去上述工序中殘留顯影液及少量雜質(zhì)。所述顯影液為芯片行業(yè)通用顯影液，即碳?xì)淙軇@影溫度25℃，顯影時(shí)間一分鐘，定影液為純水，或純水中復(fù)配少許醇類溶劑、醇醚類溶劑、醇醚酯溶劑、酮類溶劑及有一定揮發(fā)性的表面活性劑、非離子表面活性劑。該發(fā)明拋棄了目前行業(yè)中通用的常規(guī)有機(jī)定影液技術(shù)，而采用水性物質(zhì)作為定影液，不但大大降低了常規(guī)定影液的采購(gòu)成本及由此產(chǎn)生的危險(xiǎn)廢棄物處理成本，而且減少了芯片行業(yè)VOC的排放量，為環(huán)境友好、環(huán)?？沙掷m(xù)發(fā)展做出了一定貢獻(xiàn)，具有較高的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。