MEMS系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110680900.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113423050A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113423050A 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) H04R19/04（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 周延青;潘華兵;鄭泉智;胡鐵剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州士蘭微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉暢
地址 310012浙江省杭州市黃姑山路4號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種MEMS系統(tǒng)，差分電容式MEMS傳感模塊接入偏置電壓及預(yù)定電壓，差分電容式MEMS傳感模塊的差分電容在外部的聲音信號(hào)的激勵(lì)下產(chǎn)生電容變化量，差分電容中的一個(gè)MEMS電容上的信號(hào)可以耦合到另一個(gè)MEMS電容上的信號(hào)一起輸出，在MEMS部分完成了差分轉(zhuǎn)單端的功能，體現(xiàn)為差分電容式MEMS傳感模塊輸出的第一電壓信號(hào)通過(guò)一個(gè)輸出端輸出，實(shí)現(xiàn)了差分電容式MEMS傳感模塊的單端輸出，信號(hào)處理模塊只對(duì)第一電壓信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理，可兼容普通的單輸入的信號(hào)處理模塊，無(wú)需重新設(shè)計(jì)信號(hào)處理模塊。