MEMS系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110680892.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113395645A 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN113395645A 申請公布日 2021-09-14
分類號 H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 周延青;潘華兵;鄭泉智;胡鐵剛 申請（專利權(quán)）人 杭州士蘭微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉暢
地址 310012浙江省杭州市黃姑山路4號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種MEMS系統(tǒng)，電容式MEMS傳感模塊根據(jù)N個(gè)電容產(chǎn)生的電容變化量以及N路偏置電壓輸出表征聲音信號的N路第一電壓信號，N個(gè)信號處理單元分別連接差分電容式MEMS傳感模塊的N個(gè)輸出端，接入N路第一電壓信號并進(jìn)行信號處理，第i個(gè)信號處理單元的輸出端通過第i個(gè)述阻抗變換單元連接第i+1個(gè)電容，相當(dāng)于將每個(gè)信號處理單元的輸出信號耦合至下一個(gè)電容對應(yīng)的偏置電壓上，實(shí)現(xiàn)信號的疊加，通過多級級聯(lián)的方式增強(qiáng)最后一個(gè)信號處理單元輸出的第二電壓信號的幅值，且并未引入其他的噪聲，因此可以提高M(jìn)EMS系統(tǒng)的信噪比，進(jìn)而提高M(jìn)EMS系統(tǒng)的性能。