一種集成電路清洗用離子水電阻率檢測(cè)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020293552.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211979050U | 公開（公告）日 | 2020-11-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211979050U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-20 |
| 分類號(hào) | G01R27/22 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李應(yīng)龍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 天水天光半導(dǎo)體有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘭州錦知源專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 天水天光半導(dǎo)體有限責(zé)任公司 |
| 地址 | 741000 甘肅省天水市秦州區(qū)環(huán)城西路7號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種集成電路生產(chǎn)用檢測(cè)裝置，具體涉及一種集成電路清洗用離子水電阻率檢測(cè)裝置。包括離子水排液管、檢測(cè)豎管和液體介質(zhì)電阻率檢測(cè)儀，所述離子水排液管由依次連接的進(jìn)液橫管、排液豎管、排液橫管組成，所述檢測(cè)豎管兩端分別與進(jìn)液橫管和排液橫管的管身連通，所述檢測(cè)豎管與排液橫管的連通端設(shè)有阻水閥，所述液體介質(zhì)電阻率檢測(cè)儀的感應(yīng)探頭伸入檢測(cè)豎管內(nèi)。本實(shí)用新型在離子水排液管的管段上加裝檢測(cè)豎管，檢測(cè)豎管對(duì)離子水進(jìn)行收集并排出其內(nèi)空氣，最大化降低空氣對(duì)離子水的影響，保證液體介質(zhì)電阻率檢測(cè)儀的電阻檢測(cè)的準(zhǔn)確性。 |
