一種周長(zhǎng)毫米級(jí)元件共晶焊接裝置及焊接方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810940681.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109256337B 公開(kāi)（公告）日 2020-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN109256337B 申請(qǐng)公布日 2020-02-11
分類(lèi)號(hào) H01L21/48;B23K1/20;B23K1/008 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 李壽勝;夏俊生;臧子昂 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 安徽北方微電子研究院集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安徽省蚌埠博源專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 北方電子研究院安徽有限公司
地址 233000 安徽省蚌埠市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)湯和路2016號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種周長(zhǎng)毫米級(jí)元件共晶焊接裝置，包括底板，底板板面設(shè)有一組矩形定位槽，矩形定位槽包含相連通構(gòu)成階梯槽的上定位槽與下定位槽，下定位槽用于容置陶瓷基板；所述焊接裝置還包括定位板與壓板，定位板能夠嵌設(shè)于上定位槽內(nèi)，定位板板面一組定位孔，定位孔按照待焊接元件的位置分布；所述壓板底面設(shè)有一組壓塊，壓塊與定位孔一一對(duì)應(yīng)配合；通過(guò)預(yù)處理、焊片的取用、基板放置、待焊接元件放置、共晶燒結(jié)、取件、鍵合過(guò)渡片放置、鍵合過(guò)渡片共晶燒結(jié)、取件及清洗步驟即完成共晶焊接；本發(fā)明實(shí)現(xiàn)焊接后所有鍵合過(guò)渡片或半導(dǎo)體管芯平整，高度一致，滿(mǎn)足焊接檢驗(yàn)和鍵合工藝要求，提高粗絲鍵合成品率。