一種大面積石英晶片研磨裝置及其研磨方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111557783.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113941954B 公開(kāi)（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN113941954B 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) B24B37/10（2012.01）I;B24B37/005（2012.01）I;B24B49/00（2012.01）I;B24B37/30（2012.01）I;B24B49/16（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 徐建民;丁潔;張勇;王亮;蘇皓;狄建興;郝建軍;張迎春;王華恩;張賢領(lǐng);崔立志 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 唐山國(guó)芯晶源電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 石家莊冀科專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 呂甜星
地址 064100河北省唐山市玉田縣鑫興電子工業(yè)園區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種大面積石英晶片研磨裝置及研磨方法，所述研磨裝置設(shè)有基座、支撐臂組件、研磨盤、旋轉(zhuǎn)座、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、載物塊和修盤環(huán)；所述基座為布置在水平面上的方形基座，在基座對(duì)角線的兩端安裝支撐臂組件；所述支撐臂組件包括擺臂、擺臂軸、擺臂電機(jī)、可調(diào)節(jié)臂和滾輪，所述擺臂軸下端與擺臂電機(jī)連接，擺臂軸的上端與擺臂一端固定裝配，所述擺臂中部與可調(diào)節(jié)臂一端配裝，在擺臂及可調(diào)節(jié)臂的另一端均安裝滾輪；所述研磨盤安裝在旋轉(zhuǎn)座上；所述旋轉(zhuǎn)座由旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)；所述載物塊套裝在修盤環(huán)中，在載物塊底面上粘接石英晶片。本發(fā)明通過(guò)對(duì)材料去除和基片固持兩方面的改進(jìn)設(shè)計(jì)，達(dá)到保證大面積石英晶片的加工面形滿足設(shè)計(jì)要求的目的。