三自由度諧振硅微機械陀螺儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110136711.8 申請日 -
公開（公告）號 CN102798386A 公開（公告）日 2012-11-28
申請公布號 CN102798386A 申請公布日 2012-11-28
分類號 G01C19/5684(2012.01)I;B81B3/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉勝;羅璋;陳君杰 申請（專利權）人 上海飛恩微電子有限公司
代理機構 上海市華誠律師事務所 代理人 李平
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江碧波路500號309室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種三自由度諧振硅微機械陀螺儀，包括：玻璃襯底、外框架、一級感應振動框架、二級感應振動質量塊、彈性梁、固定梳齒、敏感梳狀電極、折疊梁、錨點，陀螺儀由上下兩層組成，其特征在于外框架經(jīng)彈性梁固定于錨點之上，錨點安裝在下層的玻璃襯底上，外框架的兩側設有兩組直形梳狀靜電諧振器，二級感應振動質量塊經(jīng)折疊梁與一級感應振動框架相連，一級感應振動框架經(jīng)彈性梁安裝在外框架上，一級感應振動框架和二級感應振動質量塊的兩側各設有兩組直線形敏感梳狀電極。本發(fā)明的優(yōu)點是利用單自由度驅動模態(tài)、兩個自由度的檢測模態(tài)來提高抗干擾能力的微機械陀螺儀，該微機械陀螺儀容差能力強、結構簡單、易于加工。