超小型加速度計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200510026033.4 申請日 -
公開（公告）號 CN100573155C 公開（公告）日 2009-12-23
申請公布號 CN100573155C 申請公布日 2009-12-23
分類號 G01P15/12(2006.01)I;G01P15/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉勝;陳斌;侯斌 申請（專利權(quán)）人 上海飛恩微電子有限公司
代理機構(gòu) 上海市華誠律師事務(wù)所 代理人 上海飛恩微電子有限公司;武漢飛恩微電子有限公司
地址 201203上海市張江碧波路518號B座309室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種超小型加速度計，主要包括一個加熱器，一個熱氣泡，熱電堆和底部空腔，其特征在于所述在硅襯底上設(shè)有加熱器，和熱電堆，采用塞貝克效應(yīng)將溫差轉(zhuǎn)換為電壓信號，加速度信號從每個熱電堆的差動電壓中獲取，由梁分布檢驗塊和壓敏電阻組成一個Z軸加速度計信號輸出，通過引線鍵合的形式組裝。本發(fā)明的優(yōu)點是采用CMOS兼容工藝的微制造技術(shù)及玻璃料或陽極鍵合進行圓片級封裝，加速度計具有超小型外形、三維或二維加速度信號輸出，制造成本低，靈敏度高。