基于頻率檢測原理的MEMS壓力傳感器及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110999892.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113447166A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN113447166A 申請公布日 2021-09-28
分類號 G01L1/14（2006.01）I;G01L9/12（2006.01）I;G01L9/10（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 侯鴻道;蘭之康;董振興 申請（專利權(quán)）人 南京高華科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽
地址 210049江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)棲霞大道66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 基于頻率檢測原理的MEMS壓力傳感器，采用平面螺旋電感，且在該電感的一側(cè)設(shè)置MEMS可變平行板電容，構(gòu)成LC諧振電路；MEMS電容并聯(lián)到CPW信號線和地線之間，其上極板為CPW信號線，且該上極板直接置于MEMS薄膜上，該MEMS薄膜正下方的襯底上設(shè)置凹槽，MEMS電容的下極板位于凹槽的底面和靠近地線的兩個(gè)側(cè)面上，且與地線相連；MEMS薄膜兩端置于地線上，與凹槽形成密閉腔體。利用密閉腔體感測外部壓強(qiáng)，當(dāng)密閉腔體內(nèi)外壓差發(fā)生變化時(shí)，MEMS薄膜發(fā)生撓曲，引起MEMS電容的上極板和下極板之間的電容發(fā)生變化，使得CPW傳輸線上RF信號的諧振頻率產(chǎn)生偏移，通過測量諧振頻率值便可表征檢測壓力的大小。