一種基于相位檢測原理的MEMS壓力傳感器及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110905535.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113353883A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113353883A 申請公布日 2021-09-07
分類號 B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L1/14;G01L9/12 分類 微觀結構技術〔7〕;
發(fā)明人 李維平;蘭之康;邵文東 申請（專利權）人 南京高華科技股份有限公司
代理機構 北京中知法苑知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽
地址 210049 江蘇省南京市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)棲霞大道66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于相位檢測原理的MEMS壓力傳感器及制備方法，包括：CPW傳輸線，設置在襯底上，該CPW傳輸線包括CPW信號線以及位于CPW信號線兩側(cè)的CPW地線，CPW信號線與CPW地線相互平行，凹槽設置在襯底上且位于CPW信號線下方；MEMS梁，位于凹槽的底面和靠近CPW地線的兩個側(cè)面上并呈倒置的拱橋狀，且與CPW地線相連接；MEMS薄膜位于凹槽上方，并與CPW信號線的底面接觸，其兩端置于CPW地線上，并與凹槽形成密閉腔體。利用密閉腔體來感測外部環(huán)境的壓強，RF信號在CPW傳輸線上傳輸前后的相位差發(fā)生變化，從而通過測量RF信號的相位便可獲取環(huán)境壓強。