一種MEMS濕壓集成傳感器及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110986016.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113428829A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN113428829A 申請公布日 2021-09-24
分類號 B81B3/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;G01L1/14（2006.01）I;G01L9/12（2006.01）I;G01N27/22（2006.01）I;G01D21/02（2006.01）I 分類 微觀結構技術〔7〕;
發(fā)明人 李維平;蘭之康;侯鴻道;董旭光 申請（專利權）人 南京高華科技股份有限公司
代理機構 北京中知法苑知識產權代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽
地址 210049江蘇省南京市經濟開發(fā)區(qū)棲霞大道66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出MEMS濕壓集成傳感器及制備方法，包括：位于襯底上的CPW信號線及位于CPW信號線兩側的CPW地線，且CPW信號線包括主線、第一副線和第二副線；凹槽，設置在主線下方的襯底上，包括第一凹槽和第二凹槽；MEMS梁，分別位于第一凹槽的底面和靠近第一副線的兩個側面上、第二凹槽的底面和靠近第二副線的兩個側面上；MEMS薄膜，與第一凹槽形成密閉腔體；第二MEMS薄膜位于第二凹槽正上方，且主線兩側的部分設置通孔；感濕層，位于第二MEMS梁和第二MEMS薄膜之間；終端匹配電阻，位于第一副線和第二副線遠離主線的一端；熱電堆，位于終端匹配電阻遠離主線的一端。利用本發(fā)明的結構可分別獲取環(huán)境壓強和環(huán)境濕度。