具有四周介質(zhì)隔離杯結(jié)構(gòu)的壓力傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011247291.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112067189B 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN112067189B 申請公布日 2021-09-21
分類號 G01L9/04（2006.01）I;G01L19/06（2006.01）I;G01L19/14（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李維平;李曉波;蘭之康 申請（專利權(quán)）人 南京高華科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽
地址 210046江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)棲霞大道66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種具有四周介質(zhì)隔離杯結(jié)構(gòu)的壓力傳感器及其制備方法，制備方法包括：提供襯底，在襯底上形成包井緩沖層，在包井緩沖層中形成壓敏電阻層，對壓敏電阻層進(jìn)行刻蝕，得到壓敏電阻以及環(huán)繞壓敏電阻設(shè)置的介質(zhì)隔離環(huán)，在壓敏電阻的四周形成介質(zhì)隔離杯結(jié)構(gòu)，在包井緩沖層和壓敏電阻上形成第一絕緣鈍化層，以及形成貫穿第一絕緣鈍化層的金屬化過孔，在第一絕緣鈍化層上形成金屬引線，金屬引線通過金屬化過孔與壓敏電阻電連接，以制備得到壓力傳感器。本發(fā)明能夠緩沖外界環(huán)境變化帶來的影響，大大提高器件的可靠性。另外，本發(fā)明可以有效減少電流泄漏，提高可靠性。同時，本發(fā)明可以使該結(jié)構(gòu)在180℃以上的高溫穩(wěn)定工作，成本低，可靠性高。