一種基于霍爾效應傳感器和平面電機的位移裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910088055.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111490642A 公開（公告）日 2020-08-04
申請公布號 CN111490642A 申請公布日 2020-08-04
分類號 H02K11/215(2016.01)I;G03F7/20(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 丁晨陽;李涵雄;張國旗;陳椿元;吳曉輝 申請（專利權）人 佛山極迅精密儀器有限公司
代理機構 北京得信知識產權代理有限公司 代理人 廣東極迅精密儀器有限公司
地址 528222廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)南海軟件科技園內佛高科技智庫中心A座科研樓A312-21室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種基于霍爾效應傳感器和平面電機的位移裝置，至少包括一個平面電機定子、一個平面電機動子和一個霍爾效應傳感器陣列，平面電機定子上的磁體陣列在與X方向和Y方向大致平行的第一平面上延伸，形成一個工作區(qū)，平面電機動子上的線圈陣列配置在與第一平面平行的第二平面上，線圈陣列與磁體陣列相互作用使平面電機動子在工作區(qū)范圍內產生至少兩個自由度的位移，磁體陣列由第一磁體塊和第二磁體塊交替成行成列配置，霍爾效應傳感器陣列由多個霍爾效應傳感器組成，安裝在平面電機動子上，磁體陣列的磁體塊在X方向的尺寸不小于霍爾效應傳感器陣列的列間距的兩倍，磁體陣列的磁體塊在Y方向的尺寸不小于霍爾效應傳感器陣列的行間距的兩倍。??