一種位移裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711477956.0 申請日 -
公開（公告）號 CN109991814B 公開（公告）日 2019-07-09
申請公布號 CN109991814B 申請公布日 2019-07-09
分類號 G03F7/20(2006.01)I;H02K41/035(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 丁晨陽 申請（專利權(quán)）人 佛山極迅精密儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京得信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 廣東極迅精密儀器有限公司
地址 528222廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)南海軟件科技園內(nèi)佛高科技智庫中心A座科研樓A312-21室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種位移裝置，其具有：定子磁體陣列，其包括第一磁體和第二磁體，所述第一磁體和所述第二磁體在第一平面內(nèi)周期性排列；以及動子，其至少包括由第一X線圈組成的第一X線圈陣列和由第一Y線圈組成的第一Y線圈陣列，所述第一X線圈陣列的主體部分配置在與所述第一平面大致平行的第一導(dǎo)體層內(nèi)，所述第一Y線圈陣列的主體部分配置在與所述第一平面大致平行的第二導(dǎo)體層內(nèi)，所述第一導(dǎo)體層和所述第二導(dǎo)體層沿與所述第一平面垂直的方向離開一定間距而配置，所述第一X線圈包括一對在第一方向上延伸的第一XX導(dǎo)體和一對在與所述第一方向大致垂直的第二方向上延伸的第一XY導(dǎo)體，所述第一方向和所述第二方向均與所述第一平面大致平行，所述第一X線圈中，一對所述第一XX導(dǎo)體中的至少一個配置在所述第二導(dǎo)體層中，一對所述第一XY導(dǎo)體均配置在所述第一導(dǎo)體層中。??