一種用于單晶生長爐的真空除塵設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710071972.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106669301B 公開（公告）日 2022-06-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN106669301B 申請(qǐng)公布日 2022-06-07
分類號(hào) B01D46/02（2006.01）I;B01D46/04（2006.01）I;B01D46/42（2006.01）I;B01D46/44（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 張承臣;李恒盛;馬守林;趙威;林俊海;趙旭倫;張先文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 沈陽隆基電磁科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 113122遼寧省撫順市遼寧省撫順經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)文華路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于單晶生長爐的除塵設(shè)備，其安裝在單晶爐真空管道與真空泵之間，能有效過濾拉晶過程中產(chǎn)生的揮發(fā)物，實(shí)現(xiàn)在線清灰，降低真空油的污染，極大的延長了真空泵的連續(xù)工作時(shí)間從而延長了單晶爐連續(xù)運(yùn)行時(shí)間。本發(fā)明的用于單晶生長爐的除塵設(shè)備過濾效率≥99.99％，防燃燒冷卻器將單晶粉塵進(jìn)行初級(jí)過濾，能夠?qū)⒁兹紵蹓m過濾效率達(dá)到95％以上，方便維護(hù)檢修門，能夠節(jié)省現(xiàn)場的維護(hù)成本；并且能夠有效清除單晶硅氣體中磷、硫、炭、坤等雜質(zhì)，從而提高單晶硅純度，減少油封油消耗，使真空系統(tǒng)不受粉塵和固體顆粒污染和損壞。